如何测量一个64微米左右的垫片？

一页纸的厚度差不多 如果是同一设备生产制造出来的，不妨将100个或更多重叠起来测量，不仅效果可以提高而且精度也有一定的保证（如果是同一系统制造而且重复精度有保证的话）；实在不行只能通过其它的方式来测试了，不知道你对测试速度有无要求?如果是工业化高速测量，建议用机器视觉的方式.